应用材料以色列申请用于检查样本的方法及带电粒子束装置专利, 使四个或更多个初级子束相对于彼此偏转

发布日期：2026-04-29 01:20 点击次数：166

国家知识产权局信息显示，应用材料以色列公司申请一项名为“用于检查样本的方法及带电粒子束装置”的专利，公开号CN121862669A，申请日期为2019年10月。

专利摘要显示，描述了一种用于辐照或检查样本的带电粒子束装置。带电粒子束装置包括用于产生初级带电粒子束的带电粒子束源以及具有用于形成四个或更多个初级的多个孔隙的多孔隙透镜板。提供具有用于初级带电粒子束或四个或更多个初级子束的一个开口的两个或更多个电极（例如，每个电极具有一个开口）。带电粒子束装置进一步包括准直器，以用于使四个或更多个初级子束中的第一初级子束、第二初级子束、第三初级子束、以及第四初级子束相对于彼此偏转。带电粒子束装置进一步包括具有三个或更多个电极的物镜单元，每个电极具有用于四个或更多个初级子束的开口。带电粒子束装置进一步包括用于支撑样本的平台。